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產(chǎn)品展示
9N系列純化器（0.1ppb）
應(yīng)用領(lǐng)域：

適用于電子半導(dǎo)體、大規(guī)模集成電路、MAMS、單晶硅多晶硅及硅外延、LED、TFT、氮化鎵、碳化硅、科研開發(fā)、實(shí)驗(yàn)分析等。

特點(diǎn)：

●  雙塔交替吸附再生，全自動(dòng)連續(xù)運(yùn)行

●  EP級316L拋光不銹鋼管件

●  配置0.003μm過濾器，去除率可達(dá)99.9999999%

●  西門子 PLC 可接入DCS系統(tǒng)

●  安全報(bào)警功能完善

●  可提供遠(yuǎn)程云服務(wù)

●  超凈環(huán)境中生產(chǎn)組裝

●  氣體處理量10-20000Nm3/h

 

9N超純氣體純化器


系列型號

適用氣體

原料氣指標(biāo)

產(chǎn)品氣指標(biāo)


N2

H2

O2

Ar

He

O2

H2O

CO2

CO

CH4

H2

N2

顆粒度


9VV

●

●

●

●

●

5N

≤0.1ppb

≤0.1ppb

≤0.1ppb

≤0.1ppb

—

≤0.1ppb

—

0.003μm

9OVV

●

—

●

●

●

5N

≤0.1ppb

≤0.1ppb

≤0.1ppb

≤0.1ppb

≤0.1ppb

≤0.1ppb

—

0.003μm

9VVX

—

—

—

●

●

5N

≤0.1ppb

≤0.1ppb

≤0.1ppb

≤0.1ppb

≤0.1ppb

≤0.1ppb

≤0.1ppb

0.003μm

—

●

—

—

—

≤0.1ppb

≤0.1ppb

≤0.1ppb

≤0.1ppb

≤0.1ppb

—

≤0.1ppb

0.003μm

9X

—

—

—

●

●

5N

≤0.1ppb

≤0.1ppb

≤0.1ppb

≤0.1ppb

≤0.1ppb

≤0.1ppb

≤0.1ppb

0.003μm

—

●

—

—

—

≤0.1ppb

≤0.1ppb

≤0.1ppb

≤0.1ppb

≤0.1ppb

—

≤0.1ppb

0.003μm

注：常用流量規(guī)格：1-20000Nm3/h;常用壓力：1-20Mpa

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